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書誌情報

書名

世界歴史大事典  13  チユ-トウ 

著者名 梅棹 忠夫/監修   江上 波夫/監修   芳賀 登/編集代表
出版者 教育出版センター
出版年月 1995.9


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0119789345492.7/イ/1階図書室52A一般図書一般貸出在庫  

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2016
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

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タイトルコード 1001000903541
書誌種別 図書
書名 世界歴史大事典  13  チユ-トウ 
書名ヨミ セカイ レキシ ダイジテン 
著者名 梅棹 忠夫/監修
著者名ヨミ ウメサオ タダオ
著者名 江上 波夫/監修
著者名ヨミ エガミ ナミオ
著者名 芳賀 登/編集代表
著者名ヨミ ハガ ノボル
出版者 教育出版センター
出版年月 1995.9
ページ数 384p
大きさ 27cm
分類記号 203.3
分類記号 203.3
ISBN 4-7632-3983-X
件名 世界史-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる!
(他の紹介)目次 半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化(CMP)装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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