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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
|
| 1 |
中央図書館 | 0117237768 | 919.6/イ/ | 1階図書室 | 68B | 一般図書 | 一般貸出 | 在庫 | |
○ |
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318.715 375.312 375.1 318.715 375.312 375.1
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1006700398465 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
近代文学としての明治漢詩 研文選書 |
| 書名ヨミ |
キンダイ ブンガク ト シテ ノ メイジ カンシ |
| 著者名 |
入谷 仙介/著
|
| 著者名ヨミ |
イリタニ センスケ |
| 版表示 |
新版 |
| 出版者 |
研文出版
|
| 出版年月 |
2006.10 |
| ページ数 |
245p |
| 大きさ |
20cm |
| 分類記号 |
919.6
|
| 分類記号 |
919.6
|
| ISBN |
4-87636-085-5 |
| 件名 |
漢詩、日本文学-歴史-明治時代 |
| 言語区分 |
日本語 |
| (他の紹介)内容紹介 |
製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる! |
| (他の紹介)目次 |
半導体製造装置を取り巻く現状 半導体製造装置をファブから理解する 洗浄・乾燥装置 イオン注入装置 熱処理装置 リングラフィー装置 エッチング装置 成膜装置 平坦化(CMP)装置 検査・測定・解析装置 後工程装置 |
| (他の紹介)著者紹介 |
佐藤 淳一 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
内容細目表
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