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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8


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関連資料

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2016
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

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タイトルコード 1008001517848
書誌種別 図書
書名 化学物質過敏症対策 専門医・スタッフからのアドバイス  プロブレムQ&A  
書名ヨミ カガク ブッシツ カビンショウ タイサク 
著者名 水城 まさみ/著
著者名ヨミ ミズキ マサミ
著者名 小倉 英郎/著
著者名ヨミ オグラ ヒデオ
著者名 乳井 美和子/著
著者名ヨミ ニュウイ ミワコ
出版者 緑風出版
出版年月 2020.9
ページ数 159p
大きさ 21cm
分類記号 493.14
分類記号 493.14
ISBN 4-8461-2015-3
内容紹介 化学物質過敏症・シックハウス症候群の患者への理解を深め、適確な診断と治療ができるよう専門医がアドバイス。化学物質過敏症・シックハウス症候群の基礎知識、診断、各科の対応、療養指導などについてQ&A形式で解説する。
著者紹介 1948年東京生まれ。医学博士。日本アレルギー学会(専門医、指導医、功労会員)。
件名 化学物質過敏症、シックハウス症候群
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる!
(他の紹介)目次 半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化(CMP)装置
検査・測定・解析装置
後工程装置
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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