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資料情報
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| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
|
| 1 |
中央図書館 | 0180414526 | KR504/ｶ/18 | 書庫６ | | 郷土資料 | 貸出禁止 | 在庫 | |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1008001364337 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
寒地技術論文・報告概要集 寒地技術シンポジウム 第34回(2018) |
| 書名ヨミ |
カンチ ギジュツ ロンブン ホウコク ガイヨウシュウ |
| 著者名 |
北海道開発技術センター／編集
|
| 著者名ヨミ |
ホッカイドウ カイハツ ギジュツ センター |
| 出版者 |
北海道開発技術センター
|
| 出版年月 |
2018.12 |
| ページ数 |
12,105p |
| 大きさ |
30cm |
| 分類記号 |
504
|
| 分類記号 |
504
|
| 言語区分 |
日本語 |
| (他の紹介)内容紹介 |
製造装置の全体を俯瞰する。あなたの知らない日本の実力がわかる。世界に冠たる日本の半導体製造装置メーカー、その技術力の神髄が手に取るようにわかる！ |
| (他の紹介)目次 |
半導体製造装置を取り巻く現状
半導体製造装置をファブから理解する
洗浄・乾燥装置
イオン注入装置
熱処理装置
リングラフィー装置
エッチング装置
成膜装置
平坦化（ＣＭＰ）装置
検査・測定・解析装置
後工程装置 |
| (他の紹介)著者紹介 |
佐藤 淳一
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
内容細目表
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