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書誌情報

書名

薄膜工学ハンドブック     

著者名 真下 正夫/編   吉田 政次/編
出版者 講談社
出版年月 1998.10


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0110082294R549.8/ハ/2階図書室126B参考資料貸出禁止在庫   ×

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1998
549.8 549.8

書誌詳細

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タイトルコード 1001001104439
書誌種別 図書
書名 薄膜工学ハンドブック     
書名ヨミ ハクマク コウガク ハンドブック 
著者名 真下 正夫/編
著者名ヨミ マシタ マサオ
著者名 吉田 政次/編
著者名ヨミ ヨシダ マサジ
出版者 講談社
出版年月 1998.10
ページ数 528p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-06-153953-1
内容紹介 各種産業の先端分野で、より高精度かつ高特性が要求される薄膜技術の、最新の知見を緻密に、またわかりやすくまとめあげた。薄膜工学を学ぶ学生、技術者全般の要望に応える総合的ハンドブック。
著者紹介 弘前大学理工学部物質理工学科教授。工学博士。
件名 薄膜-便覧
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 薄膜工学を解説したハンドブック。第2章で薄膜物性、第3章で薄膜成長に関わる基礎的側面から薄膜工学を捉え、第5章ではこれまでに培われてきた重要かつ基本的な薄膜作製技術の技術的側面から薄膜工学を捉えて、縦と横の両面から最新のデータを用いながら系統的に整理することを試みた。科学的側面として今後可能性が期待される薄膜成長のコンピュータシミュレーションに関しては、第4章に基礎理論から計算結果に至るまで十分紙面を割いて詳細に解説し、他に類をみない特徴とした。最後に、第6章で、応用上、重要と思われる精選された薄膜材料の成長技術について、それぞれ第一線で活躍中の代表的研究者が最新のデータに基づいて最先端技術を紹介し、薄膜技術の総仕上げとした。
(他の紹介)目次 第1章 序論
第2章 薄膜物性の基礎
第3章 薄膜成長の基礎
第4章 薄膜成長のシミュレーション
第5章 薄膜成長技術
第6章 主要材料の薄膜成長


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