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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0118299288549.8/サ/1階図書室49B一般図書一般貸出在庫  
2 9012911021549/サ/図書室7B一般図書一般貸出在庫  

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2010
549.8 549.8
半導体

書誌詳細

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タイトルコード 1008000287216
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2010.5
ページ数 231p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-2610-7
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 オンブバッタを離さないで…。忘れかけていた小さなものたち。子供の頃の眼に戻って虫たちに会いたい―。美しいフォトとあたたかいエッセイで綴る、自然とのふれあいとは…。いのちとは…。
(他の紹介)目次 小粋な模様の悪戯者―イタドリハムシ
緑陰の忍者は案外、無精者―ナナフシ
星を並べたファッション・ショー―トホシテントウ
羽衣の切れ端が舞い踊る―ウスバシロチョウ
肝っ玉母さんは大奮闘―フタモンアシナガバチ
角をはやした奇妙な奴だ―キバネツノトンボ
優曇華の花は幸せを呼ぶ?―クサカゲロウ
「坊ちゃん」を悩ませたイナゴ―ツチイナゴ〔ほか〕


内容細目表

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