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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 澄川6013027864549/サ/図書室13一般図書一般貸出貸出中  ×

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椎名 麟三
1996
404 404
考古学-日本 遺跡・遺物-日本

書誌詳細

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タイトルコード 1008001080160
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第2版
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-4726-3
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 悠久の歴史の中で生きた人々の生活・文化を、現代考古学の粋を結集して復原した迫真の「もう一つの日本史」。
(他の紹介)目次 総説 北海道・東北地方の自然と歴史(林謙作)
1 旧石器時代(岡村道雄)
2 縄文時代(林謙作)
3 弥生・続縄文時代(須藤隆)
4 古墳時代(辻秀人)
5 律令時代(桑原滋郎)
6 摂関―封建時代(藤沼邦彦
小井川和夫)
7 「蝦夷地」の形成(藤本強)


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