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所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報

書名

生涯学習・社会教育行政必携  平成16年版   

著者名 生涯学習・社会教育行政研究会/編集
出版者 第一法規
出版年月 2003.7


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1 中央図書館0116404872R379.1/シ/04書庫6参考資料貸出禁止在庫   ×

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吉沢 深雪
2005
549.7 549.7
リソグラフィー 半導体

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1006300061395
書誌種別 図書
書名 生涯学習・社会教育行政必携  平成16年版   
書名ヨミ ショウガイ ガクシュウ シャカイ キョウイク ギョウセイ ヒッケイ 
著者名 生涯学習・社会教育行政研究会/編集
著者名ヨミ ショウガイ ガクシュウ シャカイ キョウイク ギョウセイ ケンキュウカイ
出版者 第一法規
出版年月 2003.7
ページ数 1冊
大きさ 22cm
分類記号 379.1
分類記号 379.1
ISBN 4-474-01747-1
件名 社会教育-法令、生涯学習
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 プロセスフローを例にして基礎から発展までの技術が豊富なイラストで手に取るようにわかる。
(他の紹介)目次 リソグラフィ技術とは引き算のプロセス?
光リソグラフィの発展
露光技術と装置
レジスト材料
レジスト塗布と現像
マスクとリソグラフィ技術
EUVリソグラフィ
リソグラフィの計測技術
多彩なパターニング技術
CMOSロジックプロセス(フロントエンド)
a−Si TFTプロセス
a−Si太陽電池プロセス
(他の紹介)著者紹介 佐藤 淳一
 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。1978年、東京電気化学工業(株)(現TDK)入社。1982年、ソニー(株)入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ(セリート)創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験。現在はナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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