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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 澄川6013027864549/サ/図書室13一般図書一般貸出在庫   ○

関連資料

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柳田 泉 川村 伸秀
2009
913.6 913.6
大佛次郎賞

書誌詳細

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タイトルコード 1008001080160
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第2版
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-4726-3
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 本書は、民族と民族の抗争や人間の階級闘争あるいは社会政治体制を軸としてこれまで理解し解釈されてきた人類の歴史と文明の盛衰を、森の生態系を軸として理解し解釈しなおそうという大胆なもくろみをもっている。
(他の紹介)目次 1 東洋と西洋
2 照葉樹林文化とナラ林文化の風土
3 硬葉樹林文化の風土
4 東西オーク(ナラ・カシ)林文化の画期と生態


内容細目表

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