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書誌情報

書名

はじめての薄膜作製技術   ビギナーズブックス  

著者名 草野 英二/著
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0116982216549.8/ク/1階図書室49B一般図書一般貸出在庫  

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2006
549.8 549.8

書誌詳細

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タイトルコード 1006600308169
書誌種別 図書
書名 はじめての薄膜作製技術   ビギナーズブックス  
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ 
著者名 草野 英二/著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 工業調査会
出版年月 2006.3
ページ数 191p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7693-1252-0
内容紹介 コンピュータ、デジタル家電からメガネレンズまで、基盤技術として欠くことのできない薄膜作成技術について、はじめて学ぶ人ができる限り体系的に理解できるように解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学教授。日本真空協会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会部会長。
件名 薄膜
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の1つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。
(他の紹介)目次 第1章 薄膜とは
第2章 薄膜作製技術の基礎
第3章 真空蒸着法
第4章 スパッタリング法
第5章 化学気相成長法
第6章 薄膜の評価技術
第7章 薄膜作製技術の応用


内容細目表

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