蔵書情報
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書誌情報
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門
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| 著者名 |
佐藤 淳一/著
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| 出版者 |
秀和システム
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| 出版年月 |
2019.12 |
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資料情報
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| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
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| 1 |
図書情報館 | 1310438708 | 549.8/サ/ | 2階図書室 | WORK-427 | 一般図書 | 貸出禁止 | 在庫 | |
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Smith William 地質学-歴史 地質図
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1008001436954 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門 |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 版表示 |
第3版 |
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2019.12 |
| ページ数 |
261p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.8
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| 分類記号 |
549.8
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| ISBN |
4-7980-6037-8 |
| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 件名 |
半導体 |
| 言語区分 |
日本語 |
| (他の紹介)内容紹介 |
科学を新時代に導き後世に実利をもたらした世紀の大発明「地質図」。だが、それを完成させた男を待っていたのは、監獄行きの馬車だった…数知れぬ地層観察と類稀な洞察力で、ダーウィンに先んじて聖書の世界観を覆す発見をしたウィリアム・スミス。「地質学の父」と呼ばれる彼の知られざる波瀾の人生を、著者自身の地質学への情熱も豊かに描いた歴史科学ノンフィクション。 |
| (他の紹介)目次 |
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内容細目表
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