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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 図書情報館1310438708549.8/サ/2階図書室WORK-427一般図書貸出禁止在庫   ×

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風間 賢二
2004
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書誌詳細

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タイトルコード 1008001436954
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第3版
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-6037-8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 科学を新時代に導き後世に実利をもたらした世紀の大発明「地質図」。だが、それを完成させた男を待っていたのは、監獄行きの馬車だった…数知れぬ地層観察と類稀な洞察力で、ダーウィンに先んじて聖書の世界観を覆す発見をしたウィリアム・スミス。「地質学の父」と呼ばれる彼の知られざる波瀾の人生を、著者自身の地質学への情熱も豊かに描いた歴史科学ノンフィクション。
(他の紹介)目次 北への逃避行
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スワン亭での着想
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ジュラ紀をめぐる随想
世界を変えた地図
紳士らしからぬ行為
世紀の大安売り
レビヤタンの復讐
忘れられ、見出された男
博士として栄光を手にする


内容細目表

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