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書誌情報

書名

ドライプロセス表面処理大全   技術大全シリーズ  

著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所/編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3


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1 図書情報館1310367089566.7/ド/2階図書室WORK-430一般図書貸出禁止在庫   ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1008001365176
書誌種別 図書
書名 ドライプロセス表面処理大全   技術大全シリーズ  
書名ヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン 
著者名 関東学院大学材料・表面工学研究所/編
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2019.3
ページ数 285p
大きさ 21cm
分類記号 566.7
分類記号 566.7
ISBN 4-526-07968-9
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。
件名 金属表面処理、薄膜
言語区分 日本語

(他の紹介)目次 SHOP U
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小屋の家 Shed HOUSE
家の家 House HOUSE
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