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書誌情報

書名

半導体製造装置用語辞典     

著者名 日本半導体製造装置協会/編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1997.11


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1 中央図書館0113381933R549.8/ハ/書庫6参考資料貸出禁止在庫   ×

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1997
549.8 549.8

書誌詳細

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タイトルコード 1001001045520
書誌種別 図書
書名 半導体製造装置用語辞典     
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン 
著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
版表示 第4版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1997.11
ページ数 547p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-526-04090-8
内容紹介 最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。
件名 半導体-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 半導体デバイスを製造する7つの行程順に用語を分類、用語の追加、削除、統合を行い、2612語を収録した用語辞典。巻末に略語・日本語索引、英語索引が付く。
(他の紹介)目次 第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第2章 設計工程用語
第3章 マスク製作工程用語
第4章 ウェーハ製造工程用語
第5章 ウェーハ処理工程用語
第6章 組立工程用語
第7章 検査工程用語
第8章 設備・環境工程用語


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