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書名

電子・イオンビームハンドブック　　　　　

著者名 日本学術振興会第132委員会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1998.10

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0110086451R549.1/ﾃﾞ/２階図書室126B参考資料貸出禁止在庫　  ×

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1998
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書誌詳細

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タイトルコード 1001001106375
書誌種別 図書
書名 電子・イオンビームハンドブック　　　　　
書名ヨミ デンシ イオン ビーム ハンドブック　
著者名 日本学術振興会第132委員会／編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ダイヒャクサンジュウニ イインカイ
版表示 第3版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1998.10
ページ数 963p
大きさ 22cm
分類記号 549.1
分類記号 549.1
ISBN 4-526-04247-1
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。
件名 電子線-便覧、イオンビーム-便覧
言語区分 日本語

(他の紹介)目次 電子・イオンビームの軌道論
空間電荷効果と走行時間効果
電子・イオンビームの照射効果
電子銃
イオン源
レンズ
偏向
ＣＲＴ・撮像管
電子・イオン光学系の数値解析法
ビーム系の測定〔ほか〕


内容細目表

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