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書名

電子・イオンビームハンドブック　　　　　

著者名 日本学術振興会第132委員会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1986.9

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0115569618R549.1/ﾆ/書庫６参考資料貸出禁止在庫　  ×

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1986
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書誌詳細

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タイトルコード 1001000140235
書誌種別 図書
書名 電子・イオンビームハンドブック　　　　　
書名ヨミ デンシ イオン ビーム ハンドブック　
著者名 日本学術振興会第132委員会／編
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ダイヒャクサンジュウニ イインカイ
版表示 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1986.9
ページ数 690,8p
大きさ 22cm
分類記号 549.1
分類記号 549.1
ISBN 4-526-02074-5
件名 電子線-便覧、イオンビーム-便覧
言語区分 日本語

(他の紹介)目次 １　電子・イオンの軌道論（幾何光学）
２　軌道の数値解析
３　レンズ
４　偏向
５　電子銃
６　イオン源・イオン銃
７　走行時間効果とパルスビーム
８　ビーム系の測定
９　電子・イオンビームの照射効果
１０　電子ビーム溶接
１１　電子ビーム加工および記録
１２　電子ビーム励起レーザ
１３　電子・イオンビーム露光
１４　電子・イオンビーム重合・分解
１５　プラズマエッチング、反応性イオンエッチング
１６　イオンビームエッチング、反応性イオンビームエッチング
１７　スパッタ蒸着
１８　イオンプレーティング
１９　イオンビーム蒸着
２０　イオン注入
２１　電子・イオンプローブ


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