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書名

真空技術ハンドブック　　　　　

著者名 金持 徹／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1990.3

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0111457792R534.9/ｶ/書庫６参考資料貸出禁止在庫　  ×

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1990
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書誌詳細

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タイトルコード 1001000258990
書誌種別 図書
書名 真空技術ハンドブック　　　　　
書名ヨミ シンクウ ギジュツ ハンドブック　
著者名 金持 徹／編
著者名ヨミ カナジ トオル
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1990.3
ページ数 826,12p
大きさ 22cm
分類記号 534.93
分類記号 534.93
ISBN 4-526-02677-8
件名 真空技術-便覧
言語区分 日本語

(他の紹介)目次 第１章　真空の科学（真空の特徴
気体の考え方
気体分子運動論
気体分子運動論から導かれる諸関係）
第２章　真空システム（コンダクタンス
実効排気速度と到達圧力
排気系設計のポイント
超高真空システムの極高真空システム
真空部品
真空材料
極高真空装置用の材料とガス放出）
第３章　真空ポンプ（真空ポンプの現状と開発動向
油回転ポンプ
ルーツポンプ
ドライ真空ポンプ
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
クライオポンプ
スパッタイオンポンプ
チタンサブリメーションポンプ）
第４章　真空計測（全圧計・分圧計の種類と利用法
熱伝導真空計
電離真空計
スピニングローター真空計
隔膜真空計
全圧計の校正
極高真空全圧計とその校正
四極子マスフィルタ）
第５章　真空装置の管理（真空装置のトラブルとその対策
各種の真空装置における洩れ探し
ヘリウムリークデテクタとその使用技術
真空装置の汚染に関するトラブル）
第６章　真空を利用した薄膜製造装置（真空蒸着法
分子線エピタキシー
スパッタ法
イオンプレーティングとその応用技術
イオンビームによる薄膜形成
ドライエッチング技術
ＣＶＤ法）
第７章　真空を利用した薄膜製造技術（薄膜製造における真空技術
酸化物超伝導体と薄膜化技術
薄膜センサ
セラミックス膜
ダイヤモンド薄膜）
第８章　真空利用装置と利用技術（電子顕微鏡における真空技術
表面分析技術における真空技術
真空断熱技術
スペースチャンバ
大型加速器における真空技術
最近の真空利用）
第９章　規格等


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