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書誌情報

書名

真空ハンドブック     

著者名 アルバック/編
出版者 オーム社
出版年月 2002.7


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1 中央図書館0116067984R534.9/シ/書庫6参考資料貸出禁止在庫   ×

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2002

書誌詳細

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タイトルコード 1001001360778
書誌種別 図書
書名 真空ハンドブック     
書名ヨミ シンクウ ハンドブック 
著者名 アルバック/編
著者名ヨミ アルバック
版表示 新版
出版者 オーム社
出版年月 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
分類記号 534.93
分類記号 534.93
ISBN 4-274-08727-1
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
件名 真空技術-便覧
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。
(他の紹介)目次 第1章 真空の基礎
第2章 真空用部品
第3章 真空用構成材料
第4章 熱
第5章 低温
第6章 プラズマ・イオンビーム
第7章 表面分析
第8章 薄膜・表面加工
第9章 応用


内容細目表

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