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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 図書情報館1310438708549.8/サ/2階図書室WORK-427一般図書貸出禁止在庫   ×

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2005
913.68 913.68

書誌詳細

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タイトルコード 1008001436954
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第3版
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-6037-8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 中原中也も草野心平も小林秀雄も梶井基次郎も坂口安吾もみんなべろんべろんだった。
(他の紹介)目次 1 中原中也伝説
2 悪口雑言と狼藉
3 泥酔界の巨星墜つ
4 小林秀雄と困った仲間たち
5 泥酔者は跳躍する
6 酔っ払いは栴檀より芳し
7 嫌われ者
8 ほのぼの系泥酔者たち
9 超弩級の泥酔者たち
(他の紹介)著者紹介 西川 清史
 1952年生まれ。和歌山県出身。上智大学外国語学部フランス語学科卒業後、文藝春秋に入社。雑誌畑を歩み、2018年副社長で退職。現在は瘋癲老人生活を満喫中(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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