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資料情報
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| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
|
| 1 |
清田 | 5513953231 | 913.3/ム/ | 図書室 | 13 | 一般図書 | 一般貸出 | 在庫 | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1008001436954 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み ファブから検査まで製造装置を俯瞰する 図解入門 |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 版表示 |
第3版 |
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2019.12 |
| ページ数 |
261p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.8
|
| 分類記号 |
549.8
|
| ISBN |
4-7980-6037-8 |
| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 件名 |
半導体 |
| 言語区分 |
日本語 |
内容細目表
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