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書名

最新実用真空技術総覧　　　　　

著者名 最新実用真空技術総覧編集委員会／編
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2019.2

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
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書誌詳細

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タイトルコード 1008001351461
書誌種別 図書
書名 最新実用真空技術総覧　　　　　
書名ヨミ サイシン ジツヨウ シンクウ ギジュツ ソウラン　
著者名 最新実用真空技術総覧編集委員会／編
著者名ヨミ サイシン ジツヨウ シンクウ ギジュツ ソウラン ヘンシュウ イインカイ
出版者 エヌ・ティー・エス
出版年月 2019.2
ページ数 1084,11p
大きさ 27cm
分類記号 534.93
分類記号 534.93
ISBN 4-86043-559-2
内容紹介 半導体、ナノサイエンス・ナノテクノロジー、食品、医療など、幅広い分野で使用されている「真空技術」の基礎から応用・実用までを網羅した総覧。現場実務に役立つよう、応用技術事例を図表を多数使用して掲載する。
件名 真空技術
言語区分 日本語

(他の紹介)目次 第１部　真空工学の基礎（希薄気体の性質
真空ポンプ
真空計測器
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真空材料
真空装置の取扱い
環境・安全・衛生対策と保守）
第２部　真空応用システム（低・中真空の利用
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薄膜
分子ビーム技術
表面分析
巨大真空システム
真空が牽引する次世代先端科学技術
環境・安全・衛生対策と法規
計算物理）


内容細目表

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