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書名

半導体CMP用語事典　　　　　

著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
出版者 オーム社
出版年月 2008.10

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0117784082R549.7/ﾊ/２階図書室126B参考資料貸出禁止在庫　  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1008000091495
書誌種別 図書
書名 半導体CMP用語事典　　　　　
書名ヨミ ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン　
著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会／編
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
分類記号 549.7
分類記号 549.7
ISBN 4-274-20612-2
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
件名 集積回路-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、ＣＭＰ装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。


内容細目表

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