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書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する　　図解入門　　

著者名 佐藤 淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 澄川6013027864549/ｻ/図書室13一般図書一般貸出在庫　  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1008001080160
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　製造装置の全体を俯瞰する　　図解入門　　
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ　
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第2版
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-4726-3
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 恩人の命令は、思いがけないものだった。不当な理由で職場を解雇され、腹いせに罪を犯して逮捕された玲斗。そこへ弁護士が現れ、依頼人に従うなら釈放すると提案があった。心当たりはないが話に乗り、依頼人の待つ場所へ向かうと伯母だという女性が待っていて玲斗に命令する。「あなたにしてもらいたいこと、それはクスノキの番人です」と…。そのクスノキには不思議な言伝えがあった。
(他の紹介)著者紹介 東野 圭吾
　１９５８年、大阪府生まれ。大阪府立大学工学部卒業。８５年『放課後』で第３１回江戸川乱歩賞を受賞しデビュー。９９年『秘密』で第５２回日本推理作家協会賞、２００６年『容疑者Ｘの献身』で第１３４回直木賞、第６回本格ミステリ大賞、１２年『ナミヤ雑貨店の奇蹟』で第７回中央公論文芸賞、１３年『夢幻花』で第２６回柴田錬三郎賞、１４年『祈りの幕が下りる時』で第４８回吉川英治文学賞を受賞。１９年に野間出版文化賞を受賞(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


内容細目表

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