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書誌情報
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する 図解入門
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| 著者名 |
佐藤 淳一/著
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| 出版者 |
秀和システム
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| 出版年月 |
2016.8 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
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| 1 |
澄川 | 6013027864 | 549/サ/ | 図書室 | 13 | 一般図書 | 一般貸出 | 在庫 | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1008001080160 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する 図解入門 |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
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| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 版表示 |
第2版 |
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2016.8 |
| ページ数 |
259p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.8
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| 分類記号 |
549.8
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| ISBN |
4-7980-4726-3 |
| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。 |
| 件名 |
半導体 |
| 言語区分 |
日本語 |
| (他の紹介)内容紹介 |
ジェラルド博士の陰謀をあばこうとするジェイクたち。そんな時、動物がにげだしているというニュースが流れ、その中に行方不明だったターゼンの姿を見つける。一方、レインたちは見たことのない恐竜たちが大移動しているところへタイムワープしてしまう。さらには、超巨大恐竜におそわれて絶対絶命…! |
| (他の紹介)目次 |
1章 大移動 2章 深刻な事態 3章 びっくり大発見 4章 恐竜の大攻撃 5章 命がけの川わたり 6章 トラブルまたトラブル 7章 ガブリッ! 8章 口の中でバイバイ |
| (他の紹介)著者紹介 |
スライウム 2002年ゲンパック・スターズ(GEMPAK STARZ)入社。主にXベンチャーシリーズの企画と脚本を担当している。編集長(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 小林 快次 福井県出身。中学1年生で化石に出会い、採集をはじめる。大学時代アメリカに留学。日本人で初めて恐竜の博士号を取得。1年のうち4か月ほどは海外で発掘調査を行う、恐竜研究の第一人者。現在、北海道大学総合博物館教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
内容細目表
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