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書名

半導体製造装置用語辞典　　　　　

著者名 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0115569667R549.8/ﾆ/書庫６参考資料貸出禁止在庫　  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1001000646449
書誌種別 図書
書名 半導体製造装置用語辞典　　　　　
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン　
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
版表示 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-526-02987-4
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
件名 半導体-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
(他の紹介)目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語
資料


内容細目表

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