検索結果書誌詳細

蔵書情報

この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。

所蔵数 1 在庫数 1 予約数 0

書誌情報

書名

半導体製造装置用語辞典     

著者名 日本半導体製造装置協会/編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9


この資料に対する操作

カートに入れる を押すと この資料を 予約する候補として予約カートに追加します。

いますぐ予約する を押すと 認証後この資料をすぐに予約します。

※この書誌は予約できません。   

この資料に対する操作

電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。


マイ本棚へ追加ログインメモ


資料情報

各蔵書資料に関する詳細情報です。

No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0115569667R549.8/ニ/書庫6参考資料貸出禁止在庫   ×

関連資料

この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。

1991
549.8 549.8

書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1001000646449
書誌種別 図書
書名 半導体製造装置用語辞典     
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン 
著者名 日本半導体製造装置協会/編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
版表示 第2版
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9
ページ数 419p
大きさ 22cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-526-02987-4
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
件名 半導体-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数2200語を掲載。より使いやすい実務辞典。
(他の紹介)目次 第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第2章 設計工程用語
第3章 マスク製作工程用語
第4章 ウェーハ製造工程用語
第5章 ウェーハ処理工程用語
第6章 組立工程用語
第7章 検査工程用語
第8章 設備・環境工程用語
資料


内容細目表

前のページへ

本文はここまでです。


ページの終わりです。