検索結果書誌詳細
半導体製造装置用語辞典
- 著者名
- 著者名：日本半導体製造装置協会／編
- 出版者
- 出版者：日刊工業新聞社 出版年月：1991.9
書誌詳細
-
内容紹介
-
1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語
＋ 追加情報を見る
-
タイトルコード
-
1001000646449
-
書誌種別
-
図書
-
著者名
-
日本半導体製造装置協会／編
-
著者名ヨミ
-
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
-
出版者
-
日刊工業新聞社
-
出版年月
-
1991.9
-
ページ数
-
419p
-
大きさ
-
22cm
-
ISBN
-
4-526-02987-4
-
分類記号
-
549.8
-
分類記号
-
549.8
-
書名
-
半導体製造装置用語辞典
-
書名ヨミ
-
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
-
-
-
件名1
-
半導体-辞典
資料情報
1
- 所蔵館
- 中央図書館
- 請求記号
- R549.8/ﾆ/
- 所蔵棚番号
-
- 帯出区分
- 貸出禁止
- 付録
-
- 資料番号
- 0115569667
- 配架場所
- 書庫６
- 資料種別
- 参考資料
- 状態
- 在庫
- 貸出
- ×
前のページへもどる
予約の実行
「カートに入れる」を押すと、この資料を予約する候補として予約カートに追加します。
※この書誌は予約できません。
電子書籍を読む
「電子書籍を読む」を押すと、電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。
