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書誌情報
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する 図解入門
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| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2016.8 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
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| 1 |
澄川 | 6013027864 | 549/サ/ | 図書室 | 13 | 一般図書 | 一般貸出 | 在庫 | |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1008001080160 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する 図解入門 |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 版表示 |
第2版 |
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2016.8 |
| ページ数 |
259p |
| 大きさ |
21cm |
| 分類記号 |
549.8
|
| 分類記号 |
549.8
|
| ISBN |
4-7980-4726-3 |
| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。 |
| 件名 |
半導体 |
| 言語区分 |
日本語 |
内容細目表
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