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書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する　　図解入門　　

著者名 佐藤 淳一／著
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 図書情報館1310438708549.8/ｻ/２階図書室WORK-427一般図書貸出禁止在庫　  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1008001436954
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する　　図解入門　　
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ　
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第3版
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-6037-8
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 図書館情報学の専門用語を収録した用語辞典の第５版。図書館情報学について、その基礎的な概念、図書館情報学教育、図書館運営、目録、分類・件名、索引・情報検索、資料・メディアのそれぞれに関する専門用語、さらに図書館情報学にかかわる人名や団体名など、計約１８００項目を収録。


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