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書誌情報

書名

集積回路技術の基礎     

著者名 宮井 幸男/著
出版者 森北出版
出版年月 1991.8


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0118104660549.7/ミ/書庫3一般図書一般貸出在庫  

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1991
549.7 549.7
集積回路

書誌詳細

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タイトルコード 1001000640887
書誌種別 図書
書名 集積回路技術の基礎     
書名ヨミ シュウセキ カイロ ギジュツ ノ キソ 
著者名 宮井 幸男/著
著者名ヨミ ミヤイ ユキオ
出版者 森北出版
出版年月 1991.8
ページ数 206p
大きさ 22cm
分類記号 549.7
分類記号 549.7
ISBN 4-627-77150-9
内容紹介 集積回路の設計から製造まで、基本事項を明快に記述。第一線技術者にとっては、全体を見渡せる概説書として、これから従事する人には、集積回路技術の入門書として役立つように書かれた本。
件名 集積回路
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 集積回路の設計から製造まで基本事項を明快に記述した。
(他の紹介)目次 第1部 シリコン素子(半導体
PN接合ダイオード
ショットキーダイオード
バイポーラトランジスタ
バイポーラトランジスタ回路
接合形電界効果トランジスタ
MOSトランジスタ
MOSトランジスタ回路
集積回路)
第2部 製造技術(クリーンシステム
シリコンウエーハ
リソグラフィ
洗浄およびウエットエッチング
エピタキシャル成長
不純物拡散
絶縁膜形成
導電膜形成
ドライエッチング
組み立て
検査、解析、信頼性)


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