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書名

徳田秋声の文学　　　　　

著者名 野口　冨士男／著 　 徳田　秋声／伝等
出版者 筑摩書房
出版年月 １９７９．８

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0115153025910.268/ﾄ/書庫１一般図書一般貸出在庫　  ○

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書誌詳細

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著者名ヨミ トクダ シュウセイ
出版者 筑摩書房
出版年月 １９７９．８
ページ数 ０５１３
大きさ ２３＊１６
分類記号 910.268
分類記号 910.268
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 ＬＳＩプロセスに応用されている物理・化学現象と、実際の装置・設備の両面から詳しく解説し、急速な技術の進歩に即応できる多方面の知識が得られる内容となっています。日進月歩の技術革新に対応して全面改訂！
(他の紹介)目次 １章　概説
２章　ＬＳＩ、超ＬＳＩ基本プロセス概要
３章　ＬＳＩ基本回路構成
４章　ＬＳＩプロセスの基礎
５章　リソグラフィ技術と装置
６章　ＬＳＩプロセス装置
７章　ＬＳＩ、超ＬＳＩプロセス
８章　清浄化技術
９章　結言


内容細目表

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