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書名

MEMSデバイス徹底入門　「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ　　　　

著者名 三田 吉郎／著
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2018.8

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書誌詳細

この資料の書誌詳細情報です。

タイトルコード 1008001304060
書誌種別 図書
書名 MEMSデバイス徹底入門　「つかう」「わかる」「つくる」マイクロマシン・センサ　　　　
書名ヨミ メムス デバイス テッテイ ニュウモン　
著者名 三田 吉郎／著
著者名ヨミ ミタ ヨシオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2018.8
ページ数 6,188p
大きさ 21cm
分類記号 530
分類記号 530
ISBN 4-526-07871-2
内容紹介 現実世界と情報世界を仲立ちする、情報処理回路の入出力の要「MEMSデバイス」。MEMSはどう使え、どう動き、どう作るのか、関連するスキルと知識を、豊富な実験例と平易な文章で解説する。
著者紹介 1972年広島県生まれ。東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業。同大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。博士(工学)。丹羽記念賞受賞。
件名 マイクロマシン
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 これは、ただの解説本ではない！豊富な実験例と平易な文章でスキルと知識が自然と身に付く、初心者からベテランまで必携の一冊！
(他の紹介)目次 第１章　ＭＥＭＳを“つかう”（電子情報機器の用途―どこでもＭＥＭＳの時代
電子情報機器の仕組み―入力と、情報処理と、出力をもつ電子回路
百聞は一見に如かず１―秋葉原で買ったＭＥＭＳ大集合　ほか）
第２章　ＭＥＭＳを“わかる”（百聞は一見に如かず２―ばね＋マス＝ＭＥＭＳ構造を理解する
ＭＥＭＳが加速度を感じる仕組み―マスとばねとの力の釣り合い
重なり変化で変位を検知―くし歯静電容量による読み出しの原理　ほか）
第３章　ＭＥＭＳを“つくる”（百聞は一見に如かず４―「実験用ＭＥＭＳ」で見るＭＥＭＳ構造と製法
フォトリソグラフィ大研究―ＭＥＭＳは「積んで、リソして、削って」作る
パターンを転写してＭＥＭＳを形作る―Ｄｅｅｐ　ＲＩＥ　ほか）
(他の紹介)著者紹介 三田 吉郎
　東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻准教授。文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム微細加工プラットフォーム。東京大学ＶＤＥＣ「超微細リソグラフィー・ナノ計測拠点」マネージャ。１９７２年広島県呉市生まれ。１９９１年広島大学附属高等学校卒業。１９９５年東京大学工学部電子工学科卒業、学士。１９９７年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、修士。２０００年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻卒業、博士（工学）。２０００年東京大学大規模集積システム設計教育研究センター（ＶＤＥＣ）助手。２００１年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻講師。２００５年同助教授（２００７年准教授へ呼称変更）。２００１年〜大規模集積システム設計教育研究センター協力教員（クリーンルーム大型共用装置担当）。１９９７〜１９９８年フランス国立科学研究センター（ＣＮＲＳ）准研究員。２００７〜２００８年フランス国立情報学研究所（ＩＮＲＩＡ）招聘教授。２０１６〜２０１７年宇宙航空研究開発機構（ＪＡＸＡ）客員准教授。受賞：２０００年丹羽記念賞、２０１３年（第１回）東京大学工学部Ｂｅｓｔ　Ｔｅａｃｈｉｎｇ　Ａｗａｒｄ。所属学会：電気学会、電子情報通信学会、応用物理学会、ＩＥＥＥ。資格：電話級・電信級・第二級・第一級アマチュア無線技士（ＪＦ４ＣＺＪ／１）、家庭電気初級修理技士。東京大学担当講義：電気磁気学、電子回路２、電子情報機器学、全学体験ゼミナール「マイクロマシンを作ろう」、総合科目「わかる電子回路」ほか(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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