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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  

著者名 佐藤 淳一/著
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 澄川6013027864549/サ/図書室13一般図書一般貸出在庫  

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青木 理
2021
304 304

書誌詳細

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タイトルコード 1008001080160
書誌種別 図書
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 製造装置の全体を俯瞰する  図解入門  
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ 
著者名 佐藤 淳一/著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
版表示 第2版
出版者 秀和システム
出版年月 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
分類記号 549.8
分類記号 549.8
ISBN 4-7980-4726-3
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
件名 半導体
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 誰がここまで社会を壊したのか?人倫を踏みにじったのか?闘うジャーナリストが、暴政に抗い続けた4年間。危機の時代を刻み込む記録。変革のための必読テキスト。
(他の紹介)目次 2018年(統治の道具
報道と恥 ほか)
2019年(根を張る病
別の理由 ほか)
2020年(圧政の餌
共犯者 ほか)
2021年(正気か
なかにし礼さん ほか)
(他の紹介)著者紹介 青木 理
 1966年生まれ。共同通信記者を経て、フリーのジャーナリスト、ノンフィクション作家。丹念な取材と鋭い思索、独自の緻密な文体によって時代の深層に肉薄する。著書多数(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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