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書名

これからのMEMS　LSIとの融合　　　　

著者名 江刺 正喜／共著 　 小野 崇人／共著
出版者 森北出版
出版年月 2016.6

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 図書情報館1310274913530/ｴ/書庫２一般図書貸出禁止在庫　  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1008001061436
書誌種別 図書
書名 これからのMEMS　LSIとの融合　　　　
書名ヨミ コレカラ ノ メムス　
著者名 江刺 正喜／共著
著者名ヨミ エサシ マサヨシ
著者名 小野 崇人／共著
著者名ヨミ オノ タカヒト
出版者 森北出版
出版年月 2016.6
ページ数 5,151p
大きさ 22cm
分類記号 530
分類記号 530
ISBN 4-627-77551-0
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
著者紹介 1949年宮城県生まれ。東北大学原子分子材料科学高等研究機構教授。工学博士。
件名 マイクロマシン
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 ＭＥＭＳはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、ＭＥＭＳの今後の開発促進や有効利用をＭＥＭＳ研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのＭＥＭＳ」続編。
(他の紹介)目次 第１章　ヘテロ集積化（ＭＥＭＳとＬＳＩの融合）
第２章　次世代携帯機器
第３章　センサネットワーク・高機能センサ
第４章　光マイクロシステム
第５章　バイオ・医療用マイクロシステム
第６章　製造・検査装置
第７章　高度化と有効活用への道
(他の紹介)著者紹介 江刺 正喜
　１９４９年宮城県に生まれる。１９７６年東北大学大学院博士課程（電子工学専攻）修了。東北大学・助手。１９８１年東北大学・助教授。１９９０年東北大学・教授（精密工学科）。２００７年東北大学原子分子材料科学高等研究機構・教授、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・センター長（２０１０年）、革新的イノベーション研究機構（ＣＯＩ）リサーチフェロー（２０１５年）。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
小野 崇人
　１９６７年北海道生まれ。１９９６年東北大学大学院博士課程（精密工学）修了。東北大学・助手。２０００年東北大学・助教授。２００９年東北大学大学院工学研究科・教授（機械システムデザイン工学専攻）、（兼）マイクロシステム融合研究開発センター（μＳＩＣ）・副センター長（２０１０年）。工学博士(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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