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書誌情報

書名

図解でわかる半導体製造装置　　　　　

著者名 菊地 正典／監修
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0117347757549.8/ｽﾞ/１階図書室49B一般図書一般貸出在庫　  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1006700410994
書誌種別 図書
著者名 菊地 正典／監修
著者名ヨミ キクチ マサノリ
出版者 日本実業出版社
出版年月 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
ISBN 4-534-04217-0
分類記号 549.8
分類記号 549.8
書名 図解でわかる半導体製造装置　　　　　
書名ヨミ ズカイ デ ワカル ハンドウタイ セイゾウ ソウチ　
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
件名1 半導体



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