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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
所蔵棚番号 |
資料種別 |
帯出区分 |
状態 |
付録 |
貸出
|
1 |
中央図書館 | 0117784082 | R549.7/ハ/ | 2階図書室 | 126B | 参考資料 | 貸出禁止 | 在庫 | |
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関連資料
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1008000091495 |
書誌種別 |
図書 |
書名 |
半導体CMP用語事典 |
書名ヨミ |
ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン |
著者名 |
精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会/編
|
著者名ヨミ |
セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ |
出版者 |
オーム社
|
出版年月 |
2008.10 |
ページ数 |
7,262p |
大きさ |
19cm |
分類記号 |
549.7
|
分類記号 |
549.7
|
ISBN |
4-274-20612-2 |
内容紹介 |
加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。 |
件名 |
集積回路-辞典 |
言語区分 |
日本語 |
(他の紹介)内容紹介 |
戦争責任を難問にしないために、歴史学は何をすべきか。 |
(他の紹介)目次 |
第1章 歴史認識論と「歴史認識問題」 第2章 家永教科書裁判と七三一部隊 第3章 戦後補償裁判と七三一部隊 第4章 細菌戦裁判と七三一部隊・細菌戦 第5章 訴訟担当弁護士の見解 第6章 戦争犯罪追及・戦後補償と歴史学―戦後日独比較 |
(他の紹介)著者紹介 |
松村 高夫 慶應義塾大学経済学部卒業。英国ウォーリック大学博士号(社会史)取得。2007年3月まで慶應義塾大学経済学部教授。専攻イギリス社会史・労働史、日本植民地労働史(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) 矢野 久 慶應義塾大学経済学部卒業。ドイツ・ボーフム大学博士号(社会科学)取得。慶應義塾大学経済学部教授。専攻ドイツ社会史・労働史(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです) |
内容細目表
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