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書誌情報

書名

半導体CMP用語事典     

著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会/編
出版者 オーム社
出版年月 2008.10


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 所蔵棚番号 資料種別 帯出区分 状態 付録 貸出
1 中央図書館0117784082R549.7/ハ/2階図書室126B参考資料貸出禁止在庫   ×

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1973
122  122

書誌詳細

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タイトルコード 1008000091495
書誌種別 図書
書名 半導体CMP用語事典     
書名ヨミ ハンドウタイ シーエムピー ヨウゴ ジテン 
著者名 精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会/編
著者名ヨミ セイミツ コウガクカイ プラナリゼーション シーエムピー ト ソノ オウヨウ ギジュツ センモン イインカイ
出版者 オーム社
出版年月 2008.10
ページ数 7,262p
大きさ 19cm
分類記号 549.7
分類記号 549.7
ISBN 4-274-20612-2
内容紹介 加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体CMP技術・工程に関連する重要用語約450語を、図表・データを用いてわかりやすく解説する。
件名 集積回路-辞典
言語区分 日本語

(他の紹介)内容紹介 戦争責任を難問にしないために、歴史学は何をすべきか。
(他の紹介)目次 第1章 歴史認識論と「歴史認識問題」
第2章 家永教科書裁判と七三一部隊
第3章 戦後補償裁判と七三一部隊
第4章 細菌戦裁判と七三一部隊・細菌戦
第5章 訴訟担当弁護士の見解
第6章 戦争犯罪追及・戦後補償と歴史学―戦後日独比較
(他の紹介)著者紹介 松村 高夫
 慶應義塾大学経済学部卒業。英国ウォーリック大学博士号(社会史)取得。2007年3月まで慶應義塾大学経済学部教授。専攻イギリス社会史・労働史、日本植民地労働史(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
矢野 久
 慶應義塾大学経済学部卒業。ドイツ・ボーフム大学博士号(社会科学)取得。慶應義塾大学経済学部教授。専攻ドイツ社会史・労働史(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)


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