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書名

半導体製造装置用語辞典　　　　　

著者名 日本半導体製造装置協会／編
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1991.9

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1991
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書誌詳細

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(他の紹介)内容紹介 旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数２２００語を掲載。より使いやすい実務辞典。
(他の紹介)目次 第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成
第２章　設計工程用語
第３章　マスク製作工程用語
第４章　ウェーハ製造工程用語
第５章　ウェーハ処理工程用語
第６章　組立工程用語
第７章　検査工程用語
第８章　設備・環境工程用語
資料


内容細目表

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